產品介紹
美國COMDEL射頻電源:應用對象包括:刻蝕、RIE、PECVD、ICP、射頻濺射、CVD和PVD等系統,也可作為工廠業系統中感應加熱和電介質加熱設備的電源
CLX系列低頻電源、CLF系列低頻電源、CX系列高頻電源、CX5K和CX10K高頻射頻功率源、CXH系列高功率/高頻電源、CPS系列高頻電源、CB系列高頻射頻電源、CV系列甚頻(VHF)電源、CDX系列雙頻電源、XDC1000直流電源、MATCH自動調諧網絡、ESC系列靜電夾盤電源
CDX 1000-P/N FP5201R1
CDX 2000-P/N FP5315RF
CDX 2000-P/N FP5318R2
CDX 2000-P/N FP5319R2
CDX 2000-P/N FP5320R3
CLF 500-P/N FP1254R2
CLF 1000-P/N FP1252R2
15914254326劉生咨詢維修