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應用對象包括:刻蝕、RIE、PECVD、ICP、射頻濺射、CVD和PVD等系統,也可作為工廠業系統中感應加熱和電介質加熱設備的電源
單頻射頻電源 、雙頻射頻電源 、 直流電源 、ESC靜電卡盤電源 、自動調諧匹配網絡。<br
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