SANKYO三協雙臂真空輸送機器人SR8651

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真空機械手臂是一種能夠在真空環境下工作的機械手臂,主要應用于半導體和液晶產業中,實現晶圓或玻璃基板在真空腔室內的運輸,是負責真空端不同工位間晶圓傳送的關鍵自動化設備。真空潔凈機械手臂和大氣潔凈機械手臂不同的地方在于需要使用真空密封裝置來實現運動機構的動力傳輸。真空密封裝置主要𝔍有磁流體密封方式,真空電機方式以及特種橡膠圈密封方式等。真空搬運機械手臂由于不使用氣體真空吸附系統和氣缸等,因此搬運時保持晶圓在機器手上的穩定比較困難。因此,此前只能以150~200枚/時的速度搬運晶圓。此次,通過改進保持晶圓穩定的真空內的夾具,即使高速搬運,機器手上的晶圓也不會錯位。此系列真空機械手臂大部分組件采用不銹鋼或熱膨脹系數相當的并且出氣率底的材料。三協真空雙臂晶圓搬運機械手臂由輕結構鋼管構件、真空吸盤、真空器、電磁控制閥、真空開關等零部件組成,因此運動控制離合器、連接件和橫拉桿等部件的重𝕴量都減輕了不少,這也進一步地提高了三協真空機械手臂的運動性能。

三協真空雙臂晶圓搬運機械手臂SR8652參數:

真空度:1.33×10-2;

自由度:5-AXIS(all AC-servo controlled);

動作范圍「RR/RL 軸」(㎜):2720;

動作范圍「Z 軸」(㎜):465(Solar)/670(LCD);

動作范圍「θ軸」(deg):+140~-185;

三協雙臂真空搬運機械手臂SR8651參數:

真空度(Pa):1.33×10-2;

自由度:5-AXIS(all AC-servo controlled);

動作范圍「RR/RL 軸」(㎜):2400;

動作范圍「Z 軸」(㎜):250/450;

可動范圍「θ軸」(deg):+140~-185;

?控制器小型輕量化;

?使用了陶瓷手臂來應對高溫環境;

?足以應對從常溫到高溫的變化;

?降溫系統使其能應對高溫環境;

?驅動單元模塊化、易于維護;

?ARM驅動部使用了高精度部件和電能回饋結構;

?多達3段的Z軸使高度可動范圍增大;

?R部和機械手臂本體的分割設計、使其易于保養也易于進入腔體。